1704 год Исаак Ньютон- предположения об исследовании «тайны корпускул»; 1704 год Исаак Ньютон- предположения об исследовании «тайны корпускул»; 1959 год Ричард Фейман-предположение о механическом перемещении одиночных атомов; 1974 год Норио Танигучи впервые употребил термин «нанотехнологии»; 1980 год Эрик Дрекслер использовал этот термин.